关键词: 钛靶,钛合金锻件,TC4钛棒,钛合金棒
联系电话:18691779077  18791788337
产品中心
PRODUCT CENTER
SERVICE PHONE
0917-3376329

咨询热线

0917-3376329
地址:陕西省宝鸡市高新区宝钛路98号
手机:18691779077 / 18791788337
电话:+86-0917-3376329
传真:+86-0917-3376329
邮箱:bojieti@163.com

新闻动态

当前位置:主页 > 新闻动态 >

高纯钛靶介绍

发布时间:2020/08/03 点击量:
加工工艺流程
                 
原料备料 ·····> 熔炼铸锭 ·····> 成分分析 ·····> 成型处理 ·····> 热处理
                 

选取高品质原材料,

部分选择进口料,

以保证靶材品质

 

真空感应熔炼、

电子束熔炼、

悬浮熔炼等

 

ICP-MS、

GDMS、

碳硫,氧氮分析仪

 

浇筑,锻造,

轧制,热压,

拉伸等

 

消除内部应力

净利细化重排

                 
金相探伤检测 ·····> 机加工成型 ·····> 外观尺寸检测 ·····> 清洗终检 ·····> 包装出库
                 
检测内部组织  

切割,车,

铣磨,数控加工

 

检测成品外观

及尺寸公差

       

 

   
成分质量控制
   
原料成分分析:

通过ICP,GDMS等设备检测分析,金属杂质含量,确保纯度达标;

通过碳硫分析仪,氮氧分析仪等设备对非金属杂质含量进行检测。

 
金相探伤分析:

通过探伤设备检测靶材,确保产品内部无缺陷、缩孔;

通过金相测试,检测靶材内部晶粒程度,以保证晶粒细密。

 
外观尺寸检测:

通过千分尺,精密卡尺,测量产品尺寸,以确保符合图纸要求;

通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度

   
包装及保存说明
   
出库包装:

内部真空袋真空包装,外部为定制产品靶材盒,纸箱快递运输

   
储存方法:

收到产品后,需储存于干燥环境,密封包装,轻拿轻放,防压防撞

   
使用注意:

使用前观察靶材表面是否清洁,带上干净的手套操作,避免直接用手接触物料,勿被油污等异物污染

 

   
应用领域及适用设备
   
适用设备:

应用于各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备

   
应用领域:

科学实验或研究方面应用,微纳加工,器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏、

平面显示、特种涂层等

   
部分品牌:

国产品牌:北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微纳、

泰科诺等;进口品牌:Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等